2升腔体等离子清洗机

2l腔体等离子清洗机，石英腔体洁净度高，前面留有直径50mm观察窗，触摸屏控制人机界面。
等离子体清洗的机理，主要是依靠等离子体中活性粒子的"活化作用"达到去除物体表面污渍的目的。等离子体清洗通常包括以下过程:无机气体被激发为等离子态;气相物质被吸附在固体表面;被吸附基团与固体表面分子反应生成产物分子;产物分子解析形成气相;反应残余物脱离表面。
1、可以更灵活地操作，简便地改变处理气体的种类和处理程序。
2、不会对人员的身体造成任何伤害。
3、其成本对于等离子处理方法来说是微不足道的。
2l腔体等离子清洗机kt-s2dqx
供电电源
ac220v（ac110v可选)
工作电流
整机工作电流不大于3.5a(不含真空泵)
射频电源功率
150w
射频频率
13.56mhz
频率偏移量
＜0.2mhz
特性阻抗
50欧姆，手动匹配
耦合方式
电容耦合
真空度
≤100pa
腔体材质
高纯石英
腔体容积
2l(内径110mmx深度220mm)
观察窗内径
φ65
气体流量
10—100ml/min（其他量程可选）
过程控制
过程手动控制
清洗时间
手动开关
开盖方式
铰链侧开式法兰
外形尺寸
400x380x360mm
重量
23kg
真空室温度
小于65°c
冷却方式
强制风冷
标配
kf16真空管1米，kf16卡箍2个，不锈钢网匣1个，电源线一根，说明书一本。
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